efemは、2ステーションFOUP対応EFEMです。
ウエハサイズ200/300mm(8/12インチ)に対応しています。


・ フットプリント最小
・ sub class1 particle 対応
・ シングルインターフェース対応
・ RS232Cマルチポート
・ UPS対応(電源、真空及びミニエン圧力)

仕様
カセットステーション 2ステーション(FOUP対応)
ウエハサイズ 200/300mm(8/12インチ)
本体寸法 幅(W) 1,210mm
奥行き(D) 610mm
高さ(Load) 900mm(SEMI S2/S8準拠)
ユーティリティー 120VAC 5A
クリーン度(PWP) ≤0.05ppw @ ≥0.1um
スループット w/OCR 150wph
transfer 450wph
OCR Codes SEMI M12, M13, BC412 barcode T7
Rates 99.998% readability on bare silicon
ロボット OEMロボット採用
LoadPort OEM LoadPort採用

株式会社 リバティー

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efem(NADA Technologies社製)

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