株式会社 リバティー

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Liberty

n4x(4ステーション移載機)

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n4xは、4ステーションオープンカセット対応ウエハ移載機です。
ウエハサイズ200mm(8インチ)以下に対応しています。


・ フットプリント最小
・ SECSII / GEM / HSMSに対応
・ GUI対応(簡単レシピ入力)
・ UPS対応(電源及び真空)

仕様
カセットステーション 4ステーション
ウエハサイズ 50~200mm(8インチ)
本体寸法 幅(W) 950mm
奥行き(D) 910mm
高さ(Load) 900mm(SEMI S2/S8準拠)
ユーティリティー 120VAC 5A
クリーン度(PWP) ≤0.05ppw @ ≥0.1um
スループット w/OCR 350wph
transfer 850wph
OCR Codes SEMI M12, M13, BC412 barcode T7
Rates 99.998% readability on bare silicon
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