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No. メーカー モデル名 ウエハサイズ 年式 備 考
LC-Z801 東京精密 APM-90A 200 1996 自動ウエハプローバー 金メッキチャック 2台
LC-Z603 GSI-LUMONICS WaferMark II 50/100/125/150 ウエハレーザーマーカー: YAGレーザー
LC-Z804 GSI-LUMONICS SuperClean 100/125/150/200 1995 ウエハレーザーマーカー: YAGレーザー
LC-Z805 GSI-LUMONICS SigmarClean 100/125/150/200 1995 ウエハレーザーマーカー: ダイオードレーザー
(アップグレード版)