株式会社 リバティー

WPA-600S

6インチウエハ以下サイズ用
50枚バッチ式プラズマアッシング装置
(アッシング/クリーニング処理)

WPA-800S 8インチウエハサイズ用
50枚バッチ式プラズマアッシング装置

(アッシング/クリーニング処理)
WLP-600S 8インチウエハ以下サイズ用
枚葉式プラズマ処理機

(エッチング/クリーニング処理)
WLP-611S 8インチウエハ以下サイズ用
枚葉式プラズマ処理機

(エッチング/クリーニング処理)
S-Plus 多目的枚葉式プラズマ処理ユニット
搬送ユニットとプロセスユニットが分離
S-Maru 小型プラズマクリーナー
マニュアル搬送方式
PT-655S 実装基板等用
バッチ式プラズマクリーナー

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