前工程プロセス装置
No. メーカー モデル名 ウエハサイズ 年式 備 考
LQ-P651 ウシオ UMA-802-HV5 150 1995 UVキュア装置
LC-P801 キャノン MAS-8000 200 1996 枚葉式マイクロ波プラズマアッシャー 2台 
LC-P805 大日本スクリーン SKW-80A-BVPE 200 1992 コーターデベロッパー; 1コート/2デベ, WEE,
ニコンステッパー用I/F(L to R)
LC-P807 東京エレクトロン Alpha-8SE-E 200 1999 縦型拡散炉装置:Pyro
LC-P808 東京エレクトロン Alpha-8SE-E 200 2002 縦型LP-CVD装置: SiN用
LQ-P851 東京エレクトロン TE-8500S ATC 200 1998 プラズマエッチャー(酸化膜)
LQ-P551 東京エレクトロン TE-5000S 125 プラズマエッチャー(酸化膜)
LQ-P652 AMAT P5000E 150 1995 プラズマエッチャー(トレンチエッチング)
LQ-P552 ASM PXJ-200 125 1995 P-CVD装置
LC-P601 FUSION M150PC 100/125/150 UVキュア装置
LC-P822 FUSION M200PCU 200 UVキュア装置 4台
LC-P823 LAM RESEARCH TCP-9600SE 200 プラズマエッチャー: メタル用, ESC, SMIF,
リファブ済み

株式会社 リバティー

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