株式会社 リバティー

プラズマ処理機 プラズマ処理装置です。
バッチ式アッシャー、枚葉式処理機及び
プラズマクリーニング等の装置になります

移載機 移載機(ソーター)です。
半導体ウエハ2、3、4カセット及びSMIF対応、300mm対応。
お客様仕様対象物(オーダーメイド)の移載も可能です。

検査・測定機 検査・測定機です。
表面残留フォトレジストやフィルム剥がれ等の検査に最適です。

荷重検出機は、様々な物の荷重測定や耐久試験等を行います。

お客様のニーズに応じて様々な大きさや仕様の製品を製作しています。


半導体モジュール 半導体製造装置300mm用フロントモジュールです。
各種LoadPort及びEFEM等取り揃えております
(FOUP、FOSB及び200mm、N2パージ等。)


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