PT-655Sは、平行平板型高周波プラズマによりBGA等実装プロセス
でのダイアタッチの接着性改善・封止性改善等の処理を行う装置です。

オペレーションパネルにより、DPモードとRIEモードを切り替える事が
出来ます。

応用例
・プラスチックパッケージ、ハイブリッドIC等の表面改質
・フォトレジストアッシング
・繊維や高分子材料等の表面改質


仕様
処理方式 平行平板プラズマ励起方式
処理室 AL製チャンバー
ステージ段数 標準3ステージ
(1ステージ増設可(オプション))
本体寸法 幅(W) 880mm
奥行き(D) 880mm
高さ(H) 1,600mm
チャンバ寸法 幅(W) 500mm
奥行き(D) 580mm
高さ(H) 500mm
ステージ寸法 幅(W) 340mm
奥行き(D) 420mm
RF電源 13.56MHz Max. 600W
処理ガス O2、Ar
(1系統増設可(オプション))
パージガス N2
レシピ機能 プロセスレシピ Max. 10レシピ(3ステップ)

株式会社 リバティー

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PT-655S (プラズマクリーナー)