| PT-655Sは、平行平板型高周波プラズマによりBGA等実装プロセス でのダイアタッチの接着性改善・封止性改善等の処理を行う装置です。 オペレーションパネルにより、DPモードとRIEモードを切り替える事が 出来ます。 応用例 ・プラスチックパッケージ、ハイブリッドIC等の表面改質 ・フォトレジストアッシング ・繊維や高分子材料等の表面改質 仕様
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| PT-655Sは、平行平板型高周波プラズマによりBGA等実装プロセス でのダイアタッチの接着性改善・封止性改善等の処理を行う装置です。 オペレーションパネルにより、DPモードとRIEモードを切り替える事が 出来ます。 応用例 ・プラスチックパッケージ、ハイブリッドIC等の表面改質 ・フォトレジストアッシング ・繊維や高分子材料等の表面改質 仕様
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PT-655S （プラズマクリーナー）