s2aは、2ステーションFOUP対応ウエハ移載機です。
ウエハサイズ200/300mm(8/12インチ)に対応しています。


・ フットプリント最小
・ sub class1 particle 対応
・ SECSII / GEM / HSMS / GEM300に対応
・ GUI対応(簡単レシピ入力)
・ UPS対応(電源及び真空)

仕様
カセットステーション 2ステーション(FOUP対応)
ウエハサイズ 200/300mm(8/12インチ)
本体寸法 幅(W) 1,075mm
奥行き(D) 1,382mm
高さ(Load) 900mm(SEMI S2/S8準拠)
ユーティリティー 120VAC 5A
クリーン度(PWP) ≤0.05ppw @ ≥0.1um
スループット w/OCR 350wph
transfer 850wph
OCR Codes SEMI M12, M13, BC412 barcode T7
Rates 99.998% readability on bare silicon
ロボット OEMロボット採用
LoadPort OEM LoadPort採用

株式会社 リバティー

Inc.

Liberty

s2a(300mmFOUP対応移載機)

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