s2xは、2ステーションSMIF対応ウエハ移載機です。
ウエハサイズ150/200mm(6/8インチ)に対応しています。


・ フットプリント最小
・ sub class1 対応
・ SECSII / GEM / HSMSに対応
・ GUI対応(簡単レシピ入力)
・ UPS対応(電源及び真空)

仕様
カセットステーション 2ステーションSMIF Pod対応
ウエハサイズ 150/200mm(6/8インチ)
本体寸法 幅(W) 1,000mm
奥行き(D) 1,000mm
高さ(Load) 900mm(SEMI S2/S8準拠)
ユーティリティー 120VAC 5A
クリーン度(PWP) ≤0.05ppw @ ≥0.1um
スループット w/OCR 350wph
transfer 850wph
OCR Codes SEMI M12, M13, BC412 barcode T7
Rates 99.998% readability on bare silicon
ロボット OEMロボット採用
SMIF OEM Indexer採用

株式会社 リバティー

Inc.

Liberty

s2x(2ステーションSMIF対応移載機)

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移載機
検査機
半導体モジュール

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