s3xは、3ステーションSMIF対応ウエハ移載機です。
ウエハサイズ150/200mm(6/8インチ)に対応しています。


・ フットプリント最小
・ sub class1 particle 対応
・ SECSII / GEM / HSMSに対応
・ GUI対応(簡単レシピ入力)
・ UPS対応(電源及び真空)

仕様
カセットステーション 3ステーションSMIF Pod対応
ウエハサイズ 150/200mm(6/8インチ)
本体寸法 幅(W) 1,422mm
奥行き(D) 1,219mm
高さ(Load) 900mm(SEMI S2/S8準拠)
ユーティリティー 120VAC 5A
クリーン度(PWP) ≤0.05ppw @ ≥0.1um
スループット w/OCR 300wph
transfer 750wph
OCR Codes SEMI M12, M13, BC412 barcode T7
Rates 99.998% readability on bare silicon
ロボット OEMロボット採用
SMIF OEM Indexer採用

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s3x(3ステーションSMIF対応移載機)

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