s3x

s3xは、3ステーションSMIF対応ウエハ移載機です。
ウエハサイズ150/200mm（6/8インチ）に対応しています。

・フットプリント最小
・ sub class1 particle 対応
・ SECSII / GEM / HSMSに対応
・ GUI対応（簡単レシピ入力）
・ UPS対応（電源及び真空）

仕様

カセットステーション		3ステーションSMIF Pod対応
ウエハサイズ		150/200mm（6/8インチ）
本体寸法	幅（W）	1,422mm
	奥行き（D）	1,219mm
	高さ（Load）	900mm（SEMI S2/S8準拠）
ユーティリティー		120VAC　5A
クリーン度（PWP）		≤0.05ppw @ ≥0.1um
スループット	w/OCR	300wph
	transfer	750wph
OCR	Codes	SEMI M12, M13, BC412 barcode T7
	Rates	99.998% readability on bare silicon
ロボット		OEMロボット採用
SMIF		OEM Indexer採用

株式会社 リバティー

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