S-Maruは、枚葉式プラズマクリーナーです。

・ウエハ表面のエッチング、フォトレジスト等のアッシング
・チップ及び基板表面改質によるアンダーフィル性の向上
・電極表面酸化膜及び接合性阻害物除去によるワイヤボンディング性向上

仕様
処理方式 平行平板プラズマ励起方式
処理室 AL製枚葉式チャンバー
適用資料・サイズ 要相談
本体寸法 幅(W) 600mm
奥行き(D) 600mm
高さ(H) 750mm
RF電源 13.56MHz Max. 600W
処理ガス O2、CF4
(1系統増設可(オプション))
パージガス N2
レシピ機能 Max. 10レシピ
搬送方式 ・手差し方式

株式会社 リバティー

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Liberty

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S-Maru(枚葉式プラズマクリーナー)

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