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SQM(非接触リアルタイム表面洗浄度検査装置)は、測定対象物に
紫外線を照射し、出てきた電子の量によって表面の洗浄度をリアル
タイムに計測するシステムです。

このシステムは、検査物に触れることなく(非破壊)、リアルタイムに
表面に付着した物を検出し、数値化します。

有機物、無機物の汚れ、肉眼では確認できない極めて薄い付着物や
厚みがオングストローム単位の汚れ、薄いフィルム、潤滑油の薄膜や
メッキ等の微細な表面付着物をも検知し測定することが出来ます。

オングストロームレベルでの微細な汚れ、膜厚等も確実に捉えること
ができ、残留フォトレジスト、フィルム残り、フォイル状の薄膜剥がれ、
金属(アルミ、銅など)の検査に有効です。








SQM(非接触リアルタイム表面洗浄度検査装置)

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