WLP-611Sは、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・ 窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング(灰化除去)等の 処理を行う装置です。 オペレーションパネルにより、DPモードとRIEモードを切り替える事が 出来ます。 ウエハサイズ150/200mm(6/8インチ)兼用です。 仕様
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WLP-611S(枚葉式プラズマ装置)
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