WPA-800Sは、同軸バレル構造をチャンバーに持つ
ウエハ50枚バッチ式プラズマアッシング装置です。

ウエハサイズ200mm(8インチ)に対応しています。


シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ
励起により、低ダメージアッシング(灰化除去)や表面改質等、
多様なプロセス用途に利用可。

仕様
処理方式 同軸バレル型
処理室 円筒・縦型・石英チャンバー
ウエハサイズ 200mm(8インチ)
本体寸法 幅(W) 850mm
奥行き(D) 1,500mm
高さ(H) 2,200mm
RF電源 13.56MHz Max. 2,000W
処理ガス O2(1系統増設可(オプション)
パージガス N2
レシピ機能 プロセスレシピ Max. 10レシピ(3ステップ)
ヒーターレシピ Max. 5レシピ
ウエハ搬送方式 垂直動作カセットエレベーター
吸着方式クリーンロボット
(2フィンガー)

株式会社 リバティー

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WPA-800S(バッチ式アッシング装置)

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